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美國BROOKS流量計(jì)-質(zhì)量流量控制器和儀表匯總

發(fā)布日期:2022-08-11 15:30:44

美國BROOKS流量計(jì)-質(zhì)量流量控制器和儀表匯總

質(zhì)量流量控制技術(shù)。無與倫比的工藝精度。
要真正控制任何過程,您必須精確測量正在發(fā)生的事情——在進(jìn)料線、腔室中,在每個(gè)點(diǎn)——然后實(shí)時(shí)使用該信息來保持過程精確地達(dá)到目標(biāo)并保持生產(chǎn)效率。
作為精密流體測量和控制領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)者,質(zhì)量流量計(jì)制造商 Brooks Instrument 不斷創(chuàng)新熱式質(zhì)量流量技術(shù)。從熱流量傳感器和質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng),我們不斷推出新產(chǎn)品并增強(qiáng)現(xiàn)有系統(tǒng),以將熱質(zhì)量流量測量精度、響應(yīng)性、準(zhǔn)確性和可重復(fù)性提升到新的水平。
 
我們的質(zhì)量流量傳感器在全球范圍內(nèi)使用最廣泛的主要原因包括:
 
業(yè)界最佳的數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)和其他產(chǎn)品系列,可滿足最廣泛的應(yīng)用需求
MultiFlo™ 技術(shù)允許一臺設(shè)備更改氣體類型和范圍,而無需將設(shè)備從系統(tǒng)中移除并提高實(shí)際過程氣體的準(zhǔn)確性。MultiFlo™ 可與熱質(zhì)量或流量傳感器一起使用
完整的產(chǎn)品范圍包括用于熱式質(zhì)量流量傳感器和科里奧利質(zhì)量流量傳感器的彈性體密封和金屬密封選項(xiàng)
為滿足薄膜、半導(dǎo)體和其他高科技行業(yè)要求而設(shè)計(jì)的超高純度質(zhì)量流量傳感器和設(shè)備
美國BROOKS流量計(jì)-質(zhì)量流量控制器和儀表匯總
 
主要應(yīng)用
質(zhì)量流量傳感器的熱處理、切割和其他熱處理工藝
半導(dǎo)體和 LED 生產(chǎn)工具
薄膜沉積系統(tǒng)
生物制藥生物反應(yīng)器
石化和化學(xué)氣體和液體中試裝置
吹掃氣體、過程分析和分析流量測量
 
美國BROOKS流量計(jì)-彈性體密封熱 美國BROOKS流量計(jì)-金屬密封 美國BROOKS流量計(jì)-高溫?zé)?/strong> 美國BROOKS流量計(jì)-科里奧利
美國BROOKS流量計(jì) 美國BROOKS流量計(jì)金屬密封 美國BROOKS流量計(jì)5850EMH 系列高溫 美國BROOKS流量計(jì)儀表
最寬的流量和壓力范圍
長期穩(wěn)定性帶來持續(xù)價(jià)值
包括批準(zhǔn)用于危險(xiǎn)區(qū)域的產(chǎn)品
軟管沖洗/沖洗設(shè)備外殼
適用于對水分或氧氣敏感的工藝
高純度流路最大限度地減少過程污染,提高產(chǎn)量
超快響應(yīng)時(shí)間
最高工作溫度
高精度和可重復(fù)性
超高純度結(jié)構(gòu)
極低流量過程的最高精度
固有流體密度計(jì)
適用于液體和氣體應(yīng)用的設(shè)備

流體類型

氣體

流體類型

氣體

流體類型

氣體、蒸汽

流體類型

氣體、液體

流量范圍(滿量程)

3 sccm - 2500 lpm

流量范圍(滿量程)

.06 sccm - 300 slpm

流量范圍(滿量程)
3 sccm - 10 slm
流量范圍(滿量程)
10 - 27,000 克/小時(shí)

準(zhǔn)確性

± 0.6% SP

準(zhǔn)確性

SP ±1%

準(zhǔn)確性

SP ±1%

準(zhǔn)確性

費(fèi)率的0.2% - 0.5%

最大壓力

4500 磅/平方英寸

最大壓力

150 磅/平方英寸

溫度

150攝氏度_

溫度

65攝氏度_

輸出類型

模擬和數(shù)字

輸出類型

模擬和數(shù)字

輸出類型

模擬和數(shù)字

輸出類型

模擬和數(shù)字

 

 

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